Cartographie automatique pour les environnements de production
La famille F60-t de Filmetrics cartographie l'épaisseur de film et l'indice, tout comme nos produits F50, mais elle inclut également un certain nombre de fonctionnalités destinées spécifiquement aux environnements de production. Celles ci incluent la recherche automatique d'encoches, l'établissement automatique de la ligne de base, un plateau de mesure dans une enceinte avec verrouillage de mouvement, un ordinateur industriel avec logiciel préinstallé, et l'option de mise à niveau à un traitement entièrement robotisé des wafers.
Les différents instruments F60-t se distinguent principalement par leur plage de longueur d'onde. Des longueurs d'onde généralement plus courtes (par exemple F60-t-UV) sont requises pour les couches plus minces, alors que des longueurs d'onde plus longues permettent de mesurer des films plus épais, plus rugueux et plus opaques.
| Modèle |
Plage d'épaisseurs* |
Plage de longueurs d'onde |
| F60-t |
20nm-50µm |
380-1050nm |
| F60-t-UV |
10nm-50µm |
200-1100nm |
| F60-t-NIR |
100nm-250µm |
950-1700nm |
| F60-t-EXR |
20nm-250µm |
380-1700nm |
| F60-t-UVX |
10nm-250µm |
200-1700nm |
| F60-t-XT |
10µm-1mm |
1590-1650nm |
*Voir la fiche technique F60 pour plus de détails
|
Chaque modèle F60-t inclut tous les éléments suivants-Notez qu'un mandrin échantillon doit être commandé séparément :
Accessoires facultatifs usuels
De plus, chaque modèle F60-T inclut les avantages Filmetrics suivants:
