La profilométrie en comparaison à la réflectivité spectrale

La profilométrie est une méthode mécanique pour mesurer l`épaisseur des couches qui est facile à comprendre. On contrôle l’hauteur d’un capteur qui traverse une différence d’hauteur dans la couche (image à la droite). L’avantage plus important de la profilométrie est ce qu’on peut l’utiliser sur tous les couches solides, aussi les couches opaques et des couches métalliques. Des systèmes plus chers savent aussi cartographier les contours de la couche.

Mais la profilométrie a aussi des désavantages. En particulier il a besoin d’un échantillon avec une différence de l’hauteur et souvent ces degrés ne sont pas parfaits (comme on voit dans l’image). Cela, avec des erreurs pendant l’étalonnage et autre choses peut résulter à un erreur de mesure de 5 – 10 %.

Par opposition, la réflectivité spectrale (SR) est une technique sans tangence et sans besoin de préparer l’échantillon avant la mesure. L’analyse de la lumière réfléchie par la couche ne dure qu’une seconde et on peut mesurer et l`épaisseur et l’indice de réfraction. Aussi des piles de couches peuvent être mesurés par la SR.

Le tableau ci-dessous donne les avantages plus importants de tous les deux techniques. Contactez nous pour plus informations sur la réflectivité spectrale.