Beaucoup de travaux de R&D ont été effectués sur le silicium poreux ces dernières années. Une grande partie de l'intérêt est dûe à la promesse significative d'utilisation du silicium poreux dans une large gamme d'applications, y compris les dispositifs optiques, les capteurs de gaz et les dispositifs biomédicaux.

Comme pour la plupart des nouvelles technologies, le défi du développement du silicium poreux a été de trouver les outils avec lesquels caractériser divers paramètres matériels. Pour le silicium poreux, les paramètres d'intérêt les plus fondamentaux sont l'épaisseur et la porosité de la couche.

D'autres paramètres importants se rapportent aux couches traitées, telles que la fraction de matériaux imbibés ou la quantité de molécules absorbée dans les dispositifs de détection. Filmetrics a développé un algorithme unique d'analyse, indiquant l'épaisseur, l'indice et la porosité du silicium poreux, en un simple clic de souris. Cet algorithme est disponible gratuitement sur les instruments F20, F40, et F50