PHOTORESIST_IMG_ALT_measure_su-8_thickness PHOTORESIST_IMG_ALT_measure_photoresist_thickness

La mesure de photorésines poses quelques problèmes uniques on son genre, mais Filmetrics a trouvé une solution à tous ces problèmes : On ne peut pas exposer la photorésine à la lumière, la connaissance de l’indice de réfraction pour tous les photorésines disponibles et il faut considérer la changement de l’indice a cause de l’exposition.

Une application très importante, c’est la mesure de SU-8 et autres photorésines épaisses parce que l'enduction centrifuge, quoique une technologie simple et rapide, peut résulter à une épaisseur autre que laquelle désiré. La durée d’exposition est dépendante de l’épaisseur et à cause de cela il lui faut mesurer. De plus, parce qu’on peut combiner des photorésines positives et négatives pour former des structures des MEMS, il faut savoir toutes les épaisseurs des couches.

Filmetrics vous offre des instruments table polyvalents et de cartographie pour les mesures de photorésines avec une épaisseur entre 3nm et 1mm. Tous les systèmes de Filmetrics mesurent l’épaisseur (et l’indice) avec l’aide d’un modèle de la réflectivité spectrale. Des Algorithmes spéciales permettent l’analyse de couches avec un single clic de souris et résultats sont disponibles après moins d’un seconde.

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Application Notes

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Filmetrics offre des essais de mesure gratuits - les résultats sont en général disponibles en 1 à 2 jours