L’ellipsométrie en comparaison avec la réflectivité spectrale

Non seulement l’ellipsométrie spectroscopique (SE) mais encore la réflectivité spectrale (SR) analysent la lumière réfléchie par un échantillon afin de mesurer l’épaisseur et l’indice de réfraction des diélectriques, des semi-conducteurs et des couches minces. La différence plus importante entre SR et SE est ce, que SE analyse la lumière qu’est réfléchie à un angle aigu, au contraire à SR qui utilise la lumière qui entre orthogonalement sur la surface de la couche.

À cause de la différence des angles les deux technologies se distinguent concernant les coûts, la complexité, et les leurs capacités. L’ellipsomètre analyse l’état de polarisation de la lumière et aussi son intensité et c’est pourquoi on peut mieux mesurer des couches très minces et des piles complexes. Cependant pour analyser l’état de polarisation on a besoin des composants optiques mobiles et coûteux.

Au moins d’utiliser la lumière qui entre la couche orthogonale, SR peut ignorer la polarisation (le plus des films est symétrique au rapport à une droite). C’est pourquoi il n’a pas besoin des composants mobiles et les appareils sont plus simples et moins chers. Les systèmes de SR savent aussi analyser la transmission pour plus capacités.

Sous le rapport du tableau, la SR est la technologie préférée pour couches d’une épaisseur de plus que 10µm, alors que la SE est en général préférée pour les couches qui sont plus mince que 10nm. Entre ces deux valeurs il y a beaucoup d’applications pour tous les deux applications. Dans ce cas on souvent choisit la SR à cause de rapidité, simplicité et coût.

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