On utilise des couches diélectriques dans beaucoup d’applications, par exemple dans l’optique, l’industrie de semi-conducteurs, et avec l’aide des systèmes de Filmetrics on peut mesurer leur épaisseur. Ici vous trouvez plus sur quelques matériaux diélectriques très importants :
SiO2 – Le dioxyde de silicium est très facile à mesurer, surtout parce qu’il n’absorbe pas (k=0) et est en général stœchiométrique (ça veut dire que la relation Si :O est exactement 1 :2). A cause de cela on utilise SiO2 comme standard d’épaisseur et d’indice de réfraction pour étalonner des systèmes. Les instruments de Filmetrics savent mesurer une épaisseur de SiO2 de 3nm à 1mm.
Si3N4 – La mesure du nitrure de silicium est plus difficile parce que la ration stœchiométrique est rarement 3 :4 est a cause de cela il faut mesurer simultanément l’indice de réfraction. Aussi la couche souvent contient de l’oxygène, et en conséquence on trouve des oxynitrures de silicium dans la couche. Heureusement nous systèmes permettent d’analyser votre couche de Si3N4 pendant quelques secondes, avec seulement un clic de souris !
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