Nos produits d'imagerie de l'épaisseur F80 sont utilisés pour mesurer l'oxyde, le STI, et les processus en métal CMP. Le taux d'enlèvement diélectrique, l'épaisseur et l'uniformité diélectrique restante, l'érosion et l'oxyde résiduel sur le STI sont des applications communes. Les fournisseurs de consommables CMP utilisent le système portatif F80-t pour caractériser rapidement les processus de CMP et raccourcir leur cycle de développement du lisier et du pad.

Nos systèmes F40 et F42 sont également utilisés dans le développement de processus CMP, la réalisation de mesures diélectriques d'épaisseur et d'érosion de film.

Pour les mesures CMP de semi-conducteur, contactez nos experts en couches minces.

Filmetrics offre des essais de mesure gratuits - les résultats sont généralement disponibles en 1 à 2 jours.