Le silicium est majoritairement connu sous sa forme amorphe ou sa forme monocristalline, mais il existe aussi une forme, qui est un mélange entre ces deux formes et qui s’appelle le silicium poly-cristalline.

L’indice de réfraction n et le coefficient d'absorption k de silicium amorphe et poly-cristalline sont dépendants de la méthode de déposition et il faut les mesurer afin qu’on puisse déterminer correctement l’épaisseur. En plus on doit considérer la rugosité et le degré de la cristallisation et en conséquence les mesurer simultanément.

Les systèmes de Filmetrics savent mesurer et afficher ces paramètres simultanément à un clic de souris.